AlGaN下标那些x是表示元素比例,是可以理解成AlN里掺杂Ga,在不同温度和气体浓度下进行AlGaN生成的时候,得到的比例会略有不同。就像Si里掺了很少的P就会极大改变其性质一样,AlGaN也会因比例不同,对其性质有影响,还有晶格匹配的一些因素造成禁带改变什么的。。。我是微电子主修设计的。。工艺的不是很清楚,印象中是这样。。。