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要测量一个0~50μm的微小位移，精度要求0.1μm，请问应该用什么传感器测量？
要测量一个0~50μm的微小位移，精度要求0.1μm，请问应该用什么传感器测量？
2026年09月22日 10:21
有3个网友回答
网友（1）：
如果没有动态要求，可以采用高精度图像测微系统。
网友（2）：
通过SEM测量，SEM是标尺的，我可以提供这方面的服务，还需要看你需要测得样品的材料
网友（3）：
估计只有用激光位移
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