什么物质可产生三氟化氯

2026年09月27日 04:56
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网友(1):

ClF3,按1:3的摩尔比混合的氯和氟气体通过加热到290℃的镍管或蒙乃尔合金管就可以连续地生成三氟化氯。Cl2+3F2→2ClF3把生成物导入用干冰冷却的捕集器里分离未反应的气体氟和副产物氟化氯。三氟化氯为无色气体,分子量92.45,密度1.866g/L (10℃),熔点-76.31℃,沸点11... (本文共357字) 阅读全文>>

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实验室制备方法:单质氟与氯气化合制备,这是最早制备三氟化氯的方法!

三氟化氯最早是Ruff及Krug在用一氟化氯试验以后提出有更高价氟化物的存在而分离出来的。
20世纪50年代,从其用做火箭燃料氧化剂的研究开始,在无机物制备和有机合成上有了新的应用,同时,在核工业、石油工业、金属加工业也有一定的应用。
在电子工业中,三氟化氯因其独特的化学结构,化学活性倾向于氟却比氟温和许多,比氟碳化合物更为环保,其GWP值为零,被视为理想的LPCVD清洗气体。
在集成电路产业,因其高反应活性,常温下即可与固体残留物生成挥发性氟化硅化合物,用三氟化氯进行清洗是一种化学蚀刻过程,在相应的高压条件下,在材料供应充足的情况下,刻蚀去除率可达10μm/min以上,因此,此就地清洗工艺得到了广泛的应用。